VSIP-88D in-line 在线式等离子清洗系统

利用等离子清洗效果的均匀性和良好性提高产量
• 提高改善引线键合和芯片贴片工艺的粘接性
• 在线式连线型设备,可与产线通过轨道智能连线,从左至右传送产品
• 进出轨道可调,符合 SMEMA标准
• 腔体良好的密封性,具有真空泄漏报警
• SECS/GEM 通讯协议,可远程控制及信息采集
• ISO 标准
• CE安全要求

技术规格
设备尺寸: 1275 (W) xl350 (D) x2025 (H) mm
设备腔体尺寸:341(W)×341(D)×52(H)mm
电极型号:Ground-Power
射频电源 系统: STD. RF Generator, 1KW, 13.56MHz,可调范围 10-1000W,自动匹配
真空系统: 标准自检无油干泵
气体控制器 :2 个流量控制器,适用于氩气和氢气;自动检测
操作系统:(可选中文版本) 基于 PC 控制的触摸屏显示面板,软件制程及数据管理,实时显示工作
信息以及故障自检诊断;多级权限控制
进出料轨道: 轨道程序可调;定位及卡料自动检测及故障报警
电源 :380V AC, 3 Phase, 50/60Hz, Air 4 〜 6 Kgf/cm 3
紧急停止按钮

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